Výroba mikročipů
Maximální bezpečnost při výrobě v čistých prostorách. Zejména výroba mikroelektroniky vyžaduje extrémně čistý vzduch, protože i malé částice a molekuly mohou vážně narušit kvalitu a funkci polovodičových čipů.
Výroba mikroelektroniky je největší hnací silou budoucích požadavků na filtrační technologie. Díky svým dlouholetým zkušenostem jsou naši výzkumní a vývojoví inženýři připraveni čelit těmto extrémním výzvám pro tzv. miniprostředí - která musí být prakticky bez prachových částic.
Filtrace vzduchu při výrobě mikročipů
Výroba mikroelektroniky vyžaduje extrémně čisté prostředí, protože i ty nejmenší částice mohou výrazně zhoršit funkčnost a kvalitu polovodičových čipů. Díky těmto vysokým požadavkům je filtrace vzduchu nezbytnou součástí výroby.
Výzvy a požadavky na filtraci vzduchu
Výrobní procesy mikročipů, zejména v čistých prostorech, vyžadují prostředí, které je prakticky bez částic a zárodků. I prachová částice o průměru pouhých několika mikrometrů může vést k defektům v mikroskopicky malé struktuře čipu. Rozhodujícími faktory pro filtraci vzduchu v této oblasti jsou
- Bez částic: Vzduch musí být bez jakýchkoli nečistot, včetně prachu, aerosolů a zbytků chemických látek.
- Kontrola mikroorganismů: Ve vzduchu nesmí být přítomny bakterie nebo spory hub, aby nedošlo ke kontaminaci a ztrátě kvality.
- Řízené proudění vzduchu: Turbulence nebo nerovnoměrný pohyb vzduchu mohou vést k zachycení částic, proto jsou vyžadovány systémy laminárního proudění.
- Chemická čistota: Plyny nebo páry z materiálů v prostředí musí být odstraněny, aby se zabránilo nežádoucím reakcím nebo oxidaci citlivých složek.
Technologie filtrace vzduchu
Ke splnění těchto požadavků se používají speciální filtrační systémy:
- Filtry HEPA a ULPA ( High-Efficiency Particulate Air a Ultra-Low Penetration Air) odstraňují více než 99,9995 % částic až do velikosti submikrometrů.
- Filtrační vložky s aktivním uhlím pohlcují plynné nečistoty a chrání výrobu před chemickými vlivy.
- Ionizační a plazmové filtry se používají k neutralizaci organického a mikrobiálního znečištění.
Význam pro výrobu mikročipů
Vývoj stále menších a výkonnějších polovodičových čipů vyžaduje stále vyšší standardy čistoty. Miniaturizace vede ke vzniku struktur v rozsahu nanometrů, což znamená, že i molekuly ve vzduchu mohou představovat potenciální riziko. Technologie čistých prostor se proto musí nadále vyvíjet, aby splňovala rostoucí požadavky mikroelektroniky.
Díky nejnovějším filtračním technologiím můžeme zajistit, aby výrobní prostředí splňovalo přísné požadavky na čistotu a aby byla zaručena trvale vysoká kvalita mikročipů.
Dva silní partneři pro ochranu před kontaminací v procesech
Společnost Hengst podniká dva strategické kroky k posílení své pozice na jednom z nejzajímavějších trhů budoucnosti: v polovodičovém průmyslu. Po investici do švýcarského specialisty na AMC artemis control v roce 2023 získal v roce 2025 většinový podíl ve společnosti CSC Tech, čínském výrobci ventilátorových filtračních jednotek a Filtr pevných částic.
artemis control AG
artemis control je aktivní ve všech oblastech činnosti, které mohou přispět k zajištění čistoty ve výrobním procesu polovodičů, nano- nebo mikrotechnologických součástek nebo optických komponent.
Protože toho lze často dosáhnout nejen čistotou v jedné fázi, ale i kaskádou čistoty, vyvíjíme a dodáváme produkty a služby pro obecnou technologii budov, techniku čistých prostor, procesní techniku a konstrukční prvky výrobních systémů na míru.
Filtrační komponenty a systémy ultračistých médií vyvinuté a vyráběné ve vlastní režii jsou komponenty a systémy, které společnost artemis control používá pro vaše projekty v oblasti výroby a skladování ultračistých médií.
Komplexní vertikální a hluboká integrace produktových stupňů surovin, funkčních materiálů a filtračních médií, jednotlivých filtračních komponent a systémů komponent nabízí možnosti při navrhování projektů, které přesahují obvyklou nabídku na trhu.
CSC TECH (CHI SHENG CLEANNESS TECHNOLOGY)
Společnost CSC TECH se zabývá výzkumem a výrobou zařízení pro čisté prostory pro špičkové polovodičové technologie a nabízí svým zákazníkům komplexní a efektivní řešení, která pomáhají zvyšovat výrobní výkon, snižovat spotřebu energie a snižovat provozní náklady.
Pro každodenní provoz čistého prostoru nabízí společnost CSC TECH různé kombinace ventilátorových filtračních jednotek (FFU), jednotek pro doplňování vzduchu (MAU) a také EPA, HEPA a ULPA filtrační vložka v kombinaci s online monitorováním.
Výrobky a služby společnosti pokrývají širokou škálu aplikací v mikroelektronickém průmyslu.
